东莞某半导电源芯片粗加工粗加工厂，晶圆粗加工时中所产生含硅、氟的个性化废污水，设置治疗规模性1200吨/日。废污水材料比较复杂，带有納米级硅小粒及盐酸，传统艺术治疗工艺其特性很难标准。 废液化学物质及源头 一般生态破坏物 ：电解质溶液硅（100-500nm孔径）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 起源工艺程序 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP电学机戒cnc精密机械加工废渣（40%）、主设备擦洗水（15%） 治疗工艺技术工作流程 的创新采取"化学反应沉定+持种膜区分"技木风格： 钙盐沉淀物中 ：污泥脱水氯化钙删去氟亚铁离子（绘制CaF2发展） 斜板沉淀池体现 ：塑料斜板沉淀池剂保证 溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜挪用微细顆粒 反渗透设备法整体 ：脱盐率>98%，利用率75% 化掉成果 ：浓水段保持氟化物零摆放 后面结果 氟化物渗透压：<8mg/L（高出欧洲国家1级标准规定10mg/L） 硅浓度：<5mg/L 土地资源英文中水回用率：70%应用在急冷塔补湿 垃圾减轻：多效蒸发渣子量较传统艺术流程减低60%