该厂为8厘米晶圆制造线设备配套的超净水系统软件，整天呈现含硅废气150吨。废气中虽无血本属，但硅水平高易积垢，且电容率需起到18MΩ·cm才行回收利用。和原有外理工学院艺始终无法 无法新出台的《電子工业企业水污染源物废气排放口标准规范》（GB39731-2020）十分废气排放口最大限度。 废水处理工艺含量亮点 主要造成的废弃物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒级0.1-1μm） 特色特殊要求 ：TOC<10μg/L，硼份量<5μg/L 水质监测基本特征 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物结构繁琐 解决新工艺程序流程 改革创新应用"梯级膜分离法+电去阴离子"组合构成新工艺： 微滤预处置 ：1μm陶瓷厂家膜阻拦大颗料硅，通量形成80LMH 铁离子对换树酯 ：D201大孔树脂胶选定性降解硅酸氧分子 2级RO机系统 ：首先段回收公司率60%，第二点段使用高脱硼膜部件 EDI电去铁离子 ：工作电流容重2A/m²，坚持洗去残存阴阳离子 UV紫外线消毒 ：254nm分光光度计线使用量40mJ/cm² 能力优点 设计常用阻硅剂（充分胺类包覆物），抑制膜废弃物周期长3倍 EDI输出模块创新发展流道设汁，硅洗去率完善至99.8% 在线上硅分折仪（自动测量面积0.1-500μg/L）实现目标会员精准营销掌握 进行取得成效 经第三步方加测： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降为0.3μg/L 软件系统收旧率从原40%加快至68% 膜调换时期延长了至5年，年执行制造费下降35%